超高純氣體擴散器丨工業氣體過濾器OEM制造商

恒歌DF系列擴散器專用過濾器、專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。獨特的全316L不銹鋼結構、不僅確保高效過濾、更巧妙的規避了湍流產生、對工藝室環境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設計、靈活適應各類安裝空間。

產品特點

● 不銹鋼粉末燒結介質、可快速排氣

● 整體316L不銹鋼結構

● 減少工藝腔體排氣時的湍流

● 適用于多種工藝氣體

● 潔凈室環境內制造、測試、包裝

● 100%完整性測試通過

● 100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

● 防止微粒混入、幫助提高產品合格率可根據安裝空間進行設計

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應用行業

1、氣體擴散系統:用于精密氣體擴散，如氣體流量控制和均勻分布

2、廣泛應用于實驗室、半導體制造、化學反應器等

3、化學反應器:在需要控制氣體傳輸速率和均勻性的環境中，確保氣體擴散均勻且無污染

4、高精度氣體供給系統:如高純度氣體傳輸系統

恒歌擴散器過濾器有著多種規格型號、可提供OEM定制服務、可按照您的需求設計生產、為您的項目提供最專業的過濾解決方案!

?技術參數

常見問答：

Q1：這款過濾器主要適用于半導體制造的哪些具體環節??

A1：主要適用于半導體制程中真空腔體快速放氣環節，同時也可用于氣體擴散系統(如精密氣體流量控制、均勻分布)、化學反應器(需控制氣體傳輸速率與均勻性)、高精度氣體供給系統(如高純度氣體傳輸)等環節，尤其適配對潔凈度、氣流穩定性要求高的半導體工藝。?

Q2：過濾精度 0.003μm 是什么概念?能攔截哪些常見的污染物顆粒??

A2：0.003μm 屬于超高精度過濾級別，可攔截比空氣分子大、且遠超半導體工藝允許的微小污染物，包括但不限于：半導體制造中常見的金屬氧化物顆粒(如氧化硅、氧化鋁)、有機雜質顆粒、微小粉塵顆粒等，即使是肉眼不可見的超小顆粒也能有效攔截，保障腔體內部超純環境。?

Q3：全 316L 不銹鋼結構除了耐腐蝕，還有哪些針對半導體工藝的優勢??

A3：除耐腐蝕外，316L 不銹鋼材質本身具備低金屬離子溶出性，不會在使用過程中向工藝環境釋放金屬離子(如鐵、鉻等)，避免金屬離子污染半導體晶圓;同時，該材質表面光滑易清潔，后續維護時可減少污染物附著，且耐高溫特性適配半導體工藝中可能出現的高溫環境(如部分腔體加熱后放氣環節)，不會因溫度變化產生材質變形或性能衰減。?

Q4：快速排氣功能會影響過濾精度嗎?兩者如何平衡??

A4：不會影響。產品通過不銹鋼粉末燒結介質實現 “快速排氣 + 高精度過濾” 的平衡：該介質具備均勻的微孔結構，微孔尺寸精準匹配 0.003μm 過濾精度，同時微孔分布密集且連通性好，保證氣體快速通過;設計時還優化了氣流通道，減少氣體流通阻力，在快速排氣的同時，始終維持穩定的過濾效果，無需擔心精度妥協。?

Q5：定制化設計需要提供哪些參數?定制周期大概多久??

A5：定制需提供的核心參數包括：①安裝空間尺寸(長、寬、高及預留接口位置);②適配的工藝氣體類型(如是否為腐蝕性氣體、是否有高溫要求);③真空腔體的放氣速率要求;④接口類型(如法蘭接口、螺紋接口等)。定制周期需根據具體定制需求復雜度而定，常規定制需求一般為 1-2 周，復雜參數定制(如特殊材質拼接、異形結構)周期約 2-3 周，具體可與技術團隊溝通確認。?

Q6：使用過程中需要定期更換過濾器嗎?更換周期大概是多久??

A6：無需頻繁更換，具體更換周期需根據實際使用場景(如工藝氣體污染程度、腔體放氣頻率)而定：若用于高潔凈度、低污染的工藝環境，且定期進行完整性檢測無異常，一般可使用 6-12 個月;若工藝環境污染物較多、使用頻率高，建議每 3-6 個月進行一次完整性檢測，當檢測結果顯示過濾效率下降或出現泄露風險時，再進行更換，更換時可聯系廠家提供專業指導。?

Q7：氨氣泄露檢測通過，是否意味著也能適配其他腐蝕性氣體??

A7：是的。氨氣是典型的強腐蝕性氣體，100% 氨氣泄露檢測通過，證明產品的密封結構、材質耐腐蝕性可應對強腐蝕環境;對于其他常見的半導體工藝腐蝕性氣體(如氯氣、氟化氫等，需提前告知氣體類型)，只要在 316L 不銹鋼材質的耐蝕范圍內，產品均可適配，且能保證無泄露，具體可提供氣體類型給技術團隊確認適配性。?

如果您正在為半導體制程中真空腔體快速放氣的潔凈度、氣流穩定性發愁，或是需要適配氣體擴散系統、化學反應器的高精度過濾方案，恒歌 DF 系列擴散器專用過濾器隨時等候您的咨詢!?

我們的過濾器不僅擁有0.003μm 超高精度過濾能力，能從根源守護工藝潔凈度、提升產品合格率;更以全 316L 不銹鋼結構規避湍流風險，搭配快速排氣設計與潔凈室全流程管控，兼顧效率與可靠性，還可根據您的安裝空間、工藝氣體類型提供定制化方案。每臺產品均通過 100% 完整性與氨氣泄露雙重檢測，質量有絕對保障。?

無論您想了解具體適配場景、定制參數細節，還是需要技術團隊協助評估工藝需求，都可隨時通過官網留言、客服熱線或企業微信聯系我們。專業顧問將 1 對 1 為您解答疑問，提供適配方案，助力您的半導體工藝更穩定、更高效!